어플라이드 머티어리얼즈가 반도체 신기술의 발견과 개발, 상용화를 가속화하는 혁신적인 플랫폼 AIx를 발표했다.

액셔너블 인사이트 액셀러레이터(Actionable Insight Accelerator)를 의미하는 AIx는 엔지니어들이 반도체 공정을 실시간 파악하고, 웨이퍼부터 개별 칩에 이르기까지 수백만 번의 측정을 거쳐 수천 개 공정 변수를 최적화할 수 있도록 해 ‘PPACt(전력·성능·공간비용·출시소요기간)’를 향상시킨다.

AIx 플랫폼은 어플라이드의 모든 공정 장비, 전자빔(eBeam) 계측 시스템, 검사 시스템과 호환되며 랩(Lab)부터 양산시설(Fab)까지 확장 가능하다. AIx는 엔지니어들에게 연구개발 과정의 혁신적 레시피를 그대로 복제하도록 하는 역량을 제공함으로써 대량생산(HVM)을 가속화한다. AIx는 로직 반도체와 메모리 반도체 모두에서 PPACt 개선에 기여하며 현재 이미 업계에서 사용되고 있다.

어플라이드 AIx 플랫폼은 ▲챔버AI(ChamberAI) ▲온보드 계측 ▲인라인 계측 ▲어플라이드 PRO(AppliedPRO) ▲디지털 트윈 ▲컴퓨팅 자원 등으로 구성된다.

-챔버AI(ChamberAI): 어플라이드 머티어리얼즈 공정 챔버를 위한 새로운 센서와 머신러닝 알고리즘으로 엔지니어들에게 화학 에너지 압력 온도 기간 등의 변수 애널리틱스를 실시간 제공한다.

-온보드 계측: 새로운 필름을 증착과 동시에 옹스트롬(angstrom) 수준의 정밀도로 측정할 수 있는 고유의 인바쿰(In-vacuum) 계측

-인라인 계측: 어플라이드 전자빔 계측 기반의 고유 알고리즘으로 기존 방식 대비 100배 빠른 측정 속도와 50% 높은 해상도(resolution)를 제공한다. 엔지니어들은 시간당 백만 회 이상의 3D 웨이퍼 측정값을 획득함으로써 레시피의 미세한 변화가 온칩 소자와 구조에 어떤 영향을 미치는지에 대한 평가를 나노미터 수준으로 수행할 수 있다.

-어플라이드PRO(AppliedPRO): 프로세스 레시피 옵티마이저(Process Recipe Optimizer)는 디지털 공정 맵을 생성해 소재와 레시피 개발을 가속화하고 변동성을 낮추며 공정 윈도우를 확대하도록 지원한다. 어플라이드PRO는 개별 챔버와 툴의 최적화는 물론 시스템 전반의 매칭을 가속화하기 위해 사용할 수 있다.

-디지털 트윈: AIx 플랫폼에는 어플라이드의 일부 챔버와 시스템의 디지털 트윈 모델이 포함된다. 이 디지털 트윈 모델은 레시피 개발을 가속화하고 매칭과 램프 이전(ramp transfer)을 향상하고 양산 결과와 수율을 최적화한다.

-컴퓨팅: AIx 플랫폼에는 머신러닝과 AI 알고리즘을 기반으로 방대한 데이터를 저장 및 분석하기 위한 컴퓨팅 자원이 포함된다.

김원영 기자
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