올림푸스한국(대표 오카다 나오키)은 관찰 성능을 획기적으로 개선한 반도체/평판디스플레이(FPD) 검사용 산업현미경 MX63과 MX63L을 출시한다고 밝혔다.

올림푸스가 이번에 출시한 MX63과 MX63L은 LED 광원과 새로운 포커스 시스템을 도입해 관찰 성능을 높인 것이 특징이다. MIX 관찰법을 활용하면 명시야와 암시야 관찰의 장점을 결합, 웨이퍼의 색상 정보 및 회로 구조를 한 번에 확인할 수 있어 보다 편리하고 확실한 관찰이 가능하다.

고광도 LED 광원을 적용해 색 재현율을 향상시켰다. LED 광원은 광도와 관계없이 색을 정확히 표현하기 때문에 보다 정확한 색상 정보를 얻을 수 있다. 또한, 소모 전력이 낮고 수명이 길어 유지관리 비용을 절감할 수 있다는 장점도 있다.

새로운 포커스 에이드(Focus Aid) 기능을 통해 초점 성능도 높였다. 관찰시야에 나타나는 격자 무늬에 초점을 맞추면 시료에도 초점이 맞게 되는 원리다. 이를 이용하면 순수 웨이퍼(bare wafer)나 유리, 필름 등 무늬가 없는 시료에 초점을 정확하게 맞추는 것이 원활해지고, 시료에 대물렌즈가 부딪히는 사고 등을 미연에 방지하는 역할을 한다.

한편, MX63은 웨이퍼 직경 최대 200mm까지 관찰 가능하며, MX63L은 최대 300mm까지 가능하다.

김원영 기자 goora@noteforum.co.kr

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